在半導(dǎo)體芯片制造中,電子電鍍與光刻技術(shù)同樣重要。光刻技術(shù)用于在硅片上制作高度集成的晶體管,像是芯片的“腦細(xì)胞”;而電子電鍍技術(shù)則用來制造晶體管之間邏輯互連的電子導(dǎo)線,構(gòu)成芯片的“神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)”。今天,電鍍?cè)O(shè)備廠家將討論用于電子電鍍的半導(dǎo)體電鍍?cè)O(shè)備。
半導(dǎo)體廣泛應(yīng)用于集成電路、消費(fèi)電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明以及大功率電源轉(zhuǎn)換等多個(gè)領(lǐng)域,例如二極管就是一種利用半導(dǎo)體材料制造的器件。
從科技和經(jīng)濟(jì)發(fā)展的角度來看,半導(dǎo)體的重要性都非常突出。大多數(shù)電子產(chǎn)品,例如計(jì)算機(jī)、手機(jī)和數(shù)字錄音機(jī)等,其核心組件與半導(dǎo)體息息相關(guān)。
常見的半導(dǎo)體材料包括硅、鍺和砷化鎵等,其中硅在各種半導(dǎo)體材料的應(yīng)用中影響力。
半導(dǎo)體電鍍?cè)O(shè)備是芯片生產(chǎn)過程中,將電鍍液中的金屬離子沉積到晶圓表面,以形成金屬互連的設(shè)備。這類設(shè)備在半導(dǎo)體制造中至關(guān)重要,特別是在銅互連工藝中,能夠降低互連的阻抗,減少器件的功耗和成本,并提高芯片的速度、集成度及器件密度。